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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
PRODUCT INTRODUCTION
全自動(dòng)晶圓導(dǎo)片+激光刻印機(jī)
YLM系列是針對(duì)4至12 inch wafer的全自動(dòng)激光laser 設(shè)備.支持wafer ID刻印， Die 標(biāo)定點(diǎn)刻印和wafer身份識(shí)別自動(dòng)貼標(biāo)的功能集成。 可依據(jù)客戶(hù)需求選擇從Jar box ,foup,fosb,或者wafer cassette自動(dòng)上下料。
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.Barcode 掃描調(diào)程
2.蛋糕盒上料，Open cassette&FOUP 出料。支持料盒 mapping
3.Wafer ID讀取比對(duì)
4.CCD Notch定位
5.工控機(jī)+Windows系統(tǒng)
6.SECS/GEM
7.Wafer Map自動(dòng)調(diào)取比對(duì)
8.wafer ID，識(shí)別標(biāo)識(shí)，NG die刻印
9.THG laser 無(wú)熱應(yīng)力損傷,高發(fā)色刻印
10.高精度，高效率
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