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產(chǎn)品簡介
PRODUCT INTRODUCTION
全自動LED晶圓清洗機
C2000系列是針對4 inch LED 晶圓的全自動清洗設(shè)備 可依據(jù)客戶需求定制上下料方式和清洗工藝。
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特點：
1.清洗工藝：雙清洗腔體，毛刷清洗加二流體沖洗，甩干；
2.4工位，自動上下料
3.兼容大小環(huán)；
4.片環(huán)或產(chǎn)品條形碼讀取功能（BCR)；
5.SECS GEM功能；
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